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钼铌合金靶材的制作工艺有哪些

时间:2022-04-22 作者:北京瑞弛 点击:195次

  近年来,作为平板显示器电极和布线材料的钼合金靶,如LCD(液晶显示器)和PDP(等离子显示器)受到越来越多的重视。钼铌靶材是根据这种知道而很多使用的第一种钼合金靶材材料。随后,钼铌合金靶材的市场需求日益添加。

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  钼铌靶材中的铌含量一般为5%或10%,一般经过烧结法制成。由于铌在烧结过程中具有明显的吸氢性,一般在真空烧结设备中完结。但是,传统制作方法生产的钼铌靶材已不能满意快速发展的平板显示职业的质量要求。

  钼铌合金靶材加工步骤:

  钼铌合金板的加工步骤如下:首先将定量钼粉和铌粉分为至少三份,然后将每一小份钼粉和铌粉别离混合成小份混合粉。将每一小份混合粉末混合并屡次挑选后,将多个小份混合粉末合成混合合金粉末。

  然后成型,经过等静压压制成合金坯料,然后在氢气保护下在高温中频炉中烧结。烧结温度分为三个温度区:0-800℃、800-1600℃和1600-2000℃。每个温度区需要烧结至少3小时,最终烧结成合金坯料。

  然后进行锻造和轧制。经1200-1400℃高温锻造致密后,进入1500-1600℃高温炉,轧制成符合备料标准的板材。最终,经过切开、精磨和机加工,将其加工成成品钼铌合金板板。