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硅靶材

时间:2022-10-24 作者:北京瑞弛 点击:453次

  有部分客户询问硅靶材的相关知识,现在由北京瑞弛技术部同事为大家解析一下硅靶材。

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  硅靶是通过从硅锭溅射金属制成的。靶材可以通过各种工艺和方法制造,包括电镀、溅射和气相沉积。优选实施例进一步提供额外的清洁和蚀刻工艺以实现期望的表面条件。产生的靶材具有高度反射性,粗糙度小于500埃,并且燃烧速度相对较快。由这种硅靶制备的膜具有低颗粒数。

  硅靶用于在硅基材料上沉积薄膜。它们通常用于显示器、半导体、光学、光通信和玻璃涂层应用领域。它们也适用于蚀刻高科技部件。N型硅溅射靶可用于不同目的。它适用于许多领域,包括电子、太阳能电池、半导体和显示器。

  硅靶是用于在表面上沉积材料的溅射配件。通常,它由硅原子组成。溅射工艺需要精确的材料量,这可能是一个很大的挑战。使用理想的溅射设备是制造硅基元件的唯一方法。值得注意的是,溅射工艺不使用硅溅射靶。