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靶材的制作方法都有哪些?

时间:2023-03-24 作者:北京瑞弛 点击:564次

  靶材是电子信息行业中常用的一种材料。尽管它有着广泛的用途,但公众对这种材料的理解并不深刻。很多人都很好奇靶材的制造方法是什么?它是如何分类的?下面小编将介绍靶材的制造方法和分类使用。

合金靶材,靶材

  靶材的制造方法有几下几种方法

  1、铸造法

  铸造方法是将一定比例的合金材料熔化,然后将熔化的合金溶液倒入模具中,形成铸锭。加工后形成目标材料。铸造方法通常需要在真空中熔化和铸造。常用的铸造方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼。其优点是所生产的靶材杂质含量低,密度高,可大规模生产;缺点是当熔点和密度有显著差异的两种或两种以上金属熔化时,使用常规的熔化方法很难产生成分均匀的合金靶材。

  2、粉末冶金法

  粉末冶金是将合金材料按一定的组成比例熔化,然后将熔化的合金溶液铸造成铸锭的工艺。将钢锭损坏,将损坏的粉末静态成型,然后在高温下烧结,形成目标材料。用这种方法制造的靶材的优点是其成分均匀;缺陷密度低,杂质含量高。常见的粉末冶金行业有冷压、真空热压和热等静压。