产品详细参数如下：
产品类别 | 合金靶材 |
产品简称 | CoFeTaZr |
产品全称 | Cobalt iron tantalum zirconium |
产品纯度 | 99.9%，99.95%，99.99% |
产品形状 | 平面靶，柱状靶，电弧靶，异型靶 |
生产工艺 | Vacuum Melting |
最大尺寸 | L≤200mm，W≤200mm |
钴铁钽锆合金靶材产品详情：
钴铁钽锆靶材是由高纯钴、铁、钽、锆经高真空熔炼得到的靶材，该工艺能够有效控制成品靶材的氧含量，采用特殊的冷却模具，是合金液体快速冷却，得到的合金靶材组织结构均匀，成分分布均匀，组织细小，经过高温高压致密化处理，使得材料极为致密，这为其溅射出高品质薄膜提供了保障。经过热处理后，靶材的磁头率(PTF)显著提高，钴铁钽锆靶材沉积的薄膜是垂直磁记录膜层中重要的软磁层。
北京瑞弛高科技有限公司提供钴铁钽锆靶材，可以根据客户要求定制，如需要更多的信息，敬请联系我们。
