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铁铬铝合金靶材绑定铜背板 专注靶材生产厂家 - 靶材产品篇

时间:2024-04-10 作者:北京瑞弛 点击:72次


     铁铬铝合金靶材是一种由铁、铬、铝组成的合金材料。其中铁是基础金属,铬是合金强化元素,而铝的作用则是稳定化。由于铁铬铝合金具有高强度、高温稳定性、耐腐蚀性能等优良特性,因此被广泛应用于航空、航天、汽车、化工等领域。



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铁铬铝合金靶材的介绍及用途


一、铁铬铝合金基本介绍

铁铬铝合金是一种由铁、铬、铝组成的合金材料。其中铁是基础金属,铬是合金强化元素,而铝的作用则是稳定化。由于铁铬铝合金具有高强度、高温稳定性、耐腐蚀性能等优良特性,因此被广泛应用于航空、航天、汽车、化工等领域。

二、铁铬铝合金的特性

1. 高强度:铁铬铝合金具有高强度,其强度高于普通钢材,可以满足各种高强度要求的工程需求。

2. 高温稳定性:铁铬铝合金在高温下仍然具有较好的强度和稳定性,可用于高温环境下的设备和工具。

3. 耐腐蚀性能:铁铬铝合金表面经过处理后,能够防止由于腐蚀而导致的疲劳、开裂等问题,适用于海洋、化工等环境。

4. 良好的加工性:铁铬铝合金具有良好的可加工性,可应用于铸造、锻造、塑性挤压等工艺。

三、铁铬铝合金的应用

由于铁铬铝合金具有优良的物理和化学特性,因此被广泛地应用于航空、航天、汽车、化工等领域。其应用范围包括若干个方面:

1. 航空、航天领域:由于铁铬铝合金具有高强度、高温稳定性、耐腐蚀性等特性,因此被广泛应用于航空航天领域的制造及维修。

2. 汽车领域:铁铬铝合金被广泛应用于汽车发动机、制动器、外壳、底盘等零部件的制造。

3. 化工领域:铁铬铝合金还具有优良的耐腐蚀性能,能够抵抗酸、碱等腐蚀,因此被广泛应用于化工设备的制造。

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02

绑定背板流程及什么是绑定

一、什么是绑定

绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊,钎料常用In、Sn、In –Sn,一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝2。

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为什么要绑定背板



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散热:在溅射过程中,靶材会吸收大量的能量,导致温度升高。绑定高导热性的背板(如铜背板)可以有效地将靶材产生的热量传导出去,保持靶材的稳定性和均匀溅射。

机械支撑:靶材在使用过程中会遭受到持续的物理冲击,绑定在坚固的背板上可以提供足够的机械支持,防止靶材破裂或变形。

提高使用寿命:通过背板的有效散热和机械支撑,可以减少靶材的损耗和变形,从而延长靶材的使用寿命。

提升溅射效率:背板可以帮助靶材更均匀地受到溅射电源的能量,实现更高效和均匀的薄膜沉积。

04

背靶的选择

1、北京瑞弛高科技有限公司常用无氧铜,导电性好,无氧铜的导热性比紫铜好;

2、厚度适中,一般建议背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。


05

绑定过程

1、绑定前将靶材和背靶表面预处理

2、将靶材和背靶放置在钎焊台上,升温到绑定温度

3、将靶材和背靶金属化

4、粘接靶材和背靶

5、降温和后处理


06

背板脱落的原因

1、溅射温度高,背靶易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;

2、电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,造成背靶脱落;

3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;

4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。


07

靶材的规格

产品形状:平面靶、柱状靶、异型定制靶

产品类别:铁铬铝合金靶材

产品纯度:按客户需求定制

靶材尺寸:按图纸加工或者定制

北京瑞弛高科技有限公司主营:溅射靶材 特殊合金 高纯材料 研发服务等,我司为满足不同客户需求,可按需定制。只要您提供详细的靶材信息,如纯度,尺寸,公差要求,及其他技术要求,我们将尽快为您提供报价,并提供快的交期。


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