产品类别 | 陶瓷靶 |
产品简称 | WSi2 |
产品全称 | Tungsten silicide |
产品纯度 | 99.9%,99.95%,99.99% |
产品形状 | 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶 |
生产工艺 | PM |
最大尺寸 | L≤200mm,W≤200mm |
二硅化钨产品详情:
二硅化钨又名硅化钨,它的颜色为黑灰色,熔点2165℃,密度是9.3g/cm3,熔点2160℃,具有良好的抗氧化性,溶于王水,但是不溶于水,它可以和许多的物质发生剧烈反应,例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。WSi2常被用于微电子中作为触电材料,其中电阻是60-80μΩcm。同时它也经常被用多晶硅线上的分流器,从而增加多晶硅线的导电性和信号速度。
ITEM | Chemical composition | |||||
Element | W | C | P | Fe | S | Si |
Content(wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Balance |
北京瑞弛高科技有限公司专业生产二硅化钨靶材,纯度高,密度好,用于真空溅镀沉积二硅化钨薄膜,得到的膜层是良好的导体,微电子行业。如需要更多的信息,敬请联系我们。