产品类别 | 陶瓷靶 |
产品简称 | WSi2 |
产品全称 | Tungsten silicide |
产品纯度 | 99.9%，99.95%，99.99% |
产品形状 | 平面靶，柱状靶，电弧靶，异型靶 |
生产工艺 | PM |
最大尺寸 | L≤200mm,W≤200mm |
二硅化钨产品详情：
二硅化钨又名硅化钨，它的颜色为黑灰色，熔点2165℃，密度是9.3g/cm3，熔点2160℃，具有良好的抗氧化性，溶于王水，但是不溶于水，它可以和许多的物质发生剧烈反应，例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。WSi2常被用于微电子中作为触电材料，其中电阻是60-80μΩcm。同时它也经常被用多晶硅线上的分流器，从而增加多晶硅线的导电性和信号速度。
ITEM | Chemical composition | |||||
Element | W | C | P | Fe | S | Si |
Content(wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Balance |
北京瑞弛高科技有限公司专业生产二硅化钨靶材，纯度高，密度好，用于真空溅镀沉积二硅化钨薄膜，得到的膜层是良好的导体，微电子行业。如需要更多的信息，敬请联系我们。
