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陶瓷靶材
二硅化钨
二硅化钨

二硅化钨

二硅化钨又名硅化钨,它的颜色为黑灰色,熔点2165℃,密度是9.3g/cm3,熔点2160℃,具有良好的抗氧化性,溶于王水,但是不溶于水,它可以和许多的物质发生剧烈反应,例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。...

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产品类别

陶瓷靶

产品简称

WSi2

产品全称

Tungsten silicide

产品纯度

99.9%,99.95%,99.99%

产品形状

平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶

生产工艺

PM

最大尺寸

L≤200mm,W≤200mm

产品细节:

二硅化钨又名硅化钨,它的颜色为黑灰色,熔点2165℃,密度是9.3g/cm3,熔点2160℃,具有良好的抗氧化性,溶于王水,但是不溶于水,它可以和许多的物质发生剧烈反应,例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。WSi2常被用于微电子中作为触电材料,其中电阻是60-80μΩcm。同时它也经常被用多晶硅线上的分流器,从而增加多晶硅线的导电性和信号速度。

ITEM

Chemical composition

Element

W

C

P

Fe

S

Si

Content(wt%)

76.22

0.01

0.001

0.12

0.004

Balance

北京瑞弛高科技有限公司专业生产二硅化钨靶材,纯度高,密度好,用于真空溅镀沉积二硅化钨薄膜,得到的膜层是良好的导体,微电子行业。如需要更多的信息,敬请联系我们。


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