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铁合金靶材
铁钴钽合金靶材
铁钴钽合金靶材

铁钴钽合金靶材

铁钴钽合金是铁、钴、钽元素组成的合金,靶材形状通常为圆形,其沉积的膜层是垂直磁记录介质重要的软磁层材料。由于该合金材料含有大量的钽,在凝固过程中,会产生偏析,不助于沉积成分均匀的薄膜,我们采用独特的快冷工艺,得到的合金靶材晶粒细小,成分均匀。为了保证材料的...

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产品详细参数如下:

产品类别

合金靶材

产品简称

FeCoTa

产品全称

Iron Cobalt Tantalum

产品纯度

99.9%,99.95%,99.99%

产品形状

平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶

生产工艺

Vacuum Melting,PM

最大尺寸

L≤200mm,W≤200mm

铁钴钽合金靶材产品详情 :

  铁钴钽合金是铁、钴、钽元素组成的合金,靶材形状通常为圆形,其沉积的膜层是垂直磁记录介质重要的软磁层材料。由于该合金材料含有大量的钽,在凝固过程中,会产生偏析,不助于沉积成分均匀的薄膜,我们采用独特的快冷工艺,得到的合金靶材晶粒细小,成分均匀。为了保证材料的纯度和减少夹杂物的数量,采用高纯的稳定坩埚和高真空熔炼技术,确保了材料的纯净度,提高了材料的力学性能,避免了靶材在使用过程的开裂问题。

铁钴钽合金靶材的化学成分:

牌号

FeCoTa

Fe含量/wt%

Balance

Balance

Balance

Co含量/wt%

21.6±0.5

21.9±0.5

20.2±0.5

Ta含量/wt%

41.1±0.8

39.4±0.8

44.3±0.8

金属杂质含量(ppm)

Ni

≤100

≤100

≤100

Al

≤300

≤300

≤300

Si

≤200

≤200

≤200

气体杂质含量(ppm)

C

≤200

≤200

≤200

N

≤100

≤100

≤100

O

≤600

≤600

≤600

S

≤75

≤75

≤75


北京瑞弛高科技有限公司专业提供铁钴钽靶材,可以根据客户要求定制,如需要更多的信息,敬请联系我们。

标签: 合金靶材

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