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在购买溅射靶材时需要注意哪些事项

时间:2022-03-21 作者:北京瑞弛 点击:232次

  现在很多客户在购买溅射靶材的时候,注意事项还不是很了解,下面北京瑞弛的小编就为大家分享一下关于在购买靶材的时候,需要注意的事项都有哪些?这样就可以很好节省一定的时间和金钱的浪费!

  (1) 密度,这个是比较主要的,好的靶密度至少到达97%以上,所以大家买回靶来以后能够根据分量体积来计算一下你们的靶的密度和理论块体的密度的比例有多少,低于90%的退货。

  (2) 开裂问题,套磁靶很简单开裂,所以大家必定要求用cu的背板,这个是必须的,别的靶材不宜太厚,小于5mm是更好的。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度必定很差。

  (3) 电导率,关于AZO, ITO靶材来说,买回来了能够测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,越小你 做出来的膜导电性必定越好了。否则你死活都做不出你需求的电阻率的。

  好的AZO靶材的AZO粉很重要,Z好的是用纯的AZO粉,可是价格很贵,并且工艺比较复杂,这样的靶材做出来的膜电阻率Z好。

  目前国内主要是选用ZnO和Al2O3粉掺在一起做,可是问题是Al很难掺杂进ZnO中,所以电阻率不大好。ITO相类似。

  建议靶材不要自己做,仍是花钱买些大公司的靶材。你自己做一方面浪费时间,别的一方面你间隔真实的好地靶材的间隔太远了,目前你的条件完全不可能实现。