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溅射靶材的清洁方法及维护知识都有哪些

时间:2022-04-14 作者:北京瑞弛 点击:67次

  溅射靶材在随着运用率的增加,外表或许会附着有残留物,如粉尘、油污、氧化物等,继而靶材外表有不同程度的结瘤,产品质量也会有所下降,导致生产成本增加。因此,需要溅射靶材进行充沛的清洁,保证靶材的清洁度。现在北京瑞弛的小编就和大家介共享一下关于溅射靶材的清洁办法及维护知识。

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  一、溅射靶材的清洁办法

  清洁溅射靶材的目的是去除靶材外表或许存在的杂质灰尘或污垢。可以经过以下办法达到清洁目的。注意清洁靶材时请配带洁净而且不会起绒的维护手套,防止用手直接触摸靶材。

  1、吸尘器清洁

  (1)清除大颗粒物,选用吸尘器将溅射成膜过程中沉落到靶材溅射面的大颗粒物吸除洁净

  (2)砂纸打磨,选用相应目数的砂纸对靶材的溅射面进行打磨,打磨方向顺应靶材溅射面构成有的跑道的方向,一起将位于跑道中心外表泛黄的氧化层打磨洁净,去除溅射面的氧化物和杂质。

  (3)清洁除尘,选用吸尘器将靶材的溅射面上因为砂纸打磨而产生的颗粒物和灰尘吸除洁净。

  (4)擦洗清洁:选用无尘布蘸取少量酒精对靶材的溅射面进行擦洗清洁,除掉没有彻底吸除的灰尘,直至无尘布外表只有轻微变色。

  2、其他清洁法

  (1)用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  (2)用酒精清洁;

  (3)用去离子水清洗。在用去离子水清洗往后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗主张用“无绒布”进行清洁;

  (4)用高压低水气的氩气冲刷靶材,以除掉所有或许在溅射体系中会形成起弧的杂质微粒。以上是溅射靶材清洁办法的介绍,接下来咱们再来讲解下溅射靶材的维护。

  二、溅射靶材的维护

  1、密封性查看

  靶材完结装置后需要对整个阴极进行短路查看及密封性查看,主张经过运用电阻仪摇表的方法对阴极是否存在短路进行判断。在确认阴极不存在短路后,可以进行检漏查看,将水通入阴极确认是否存在漏水现象.

  2、溅射靶材保养

  对运用完结的溅射靶材进行保养,为防止在再次溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除掉溅射轨道中心及两边堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。

  3、溅射靶材贮存

  溅射靶材不用时,无论是金属或陶瓷类的靶材,主张用户将靶材保存在真空密封塑料袋中,并附有防潮剂。尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下,以防止贴合层氧化影响贴合质量。靶材外包装一般为木箱,四周有防撞层,以维护靶材和背靶防止在运送和贮存过程中产生损坏。