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贵金属铱溅射靶材

时间:2024-05-18 作者:北京瑞弛 点击:42次

什么是铱溅射靶材?

铱溅射靶材是一种特殊的溅射材料,主要由高纯度的铱金属制成。金属铱属于周期表Ⅷ 族过渡元素,元素符号Ir,原子序数77,原子量192.22,密度22.65g/cm3,熔点2410℃,沸点4428摄氏度。面心立方晶格,是一种稀有的贵金属材料。铱具有极高的熔点、硬度以及优异的化学稳定性和抗氧化性。这些特性使得铱溅射靶材在制备高质量薄膜时具有显著优势。铱溅射靶材可以应用于各种需要高稳定性、高硬度和高耐腐蚀性的薄膜制备工艺中,如半导体、光学、航空航天等领域。

  

铱溅射靶材如何制作而成?

1.材料选择:首先,需要根据客户要求,选择对应高纯度需求的铱粉。

2.冷压成型:将选定的铱粉进行冷压成型,以形成锭坯。这个过程是为了将粉末紧密地结合在一起,为后续的烧结过程打下基础。

3.低温微波烧结:将冷压成型的锭坯进行低温微波烧结。微波烧结可以在相对较低的温度下快速且均匀地加热材料,促进颗粒之间的结合,提高靶材的致密度。

4.低温真空热压烧结:在低温真空环境下进行热压烧结,以进一步提高靶材的致密度。这个过程有助于消除材料中的气孔和缺陷,提高靶材的质量和性能。

5.机加工:最后,通过机加工对烧结后的靶材进行精加工,以获得所需的形状和尺寸。这个过程确保了靶材的准确性和一致性。

制备铱溅射靶材需要采用先进的制备技术和精密的设备,以确保靶材的质量和性能。

 

 铱溅射靶材的特性:

1.高熔点:铱是一种稀有的贵金属,其熔点高达2410℃(也有资料指出熔点为2466℃),远超大多数金属。这种极高的熔点使得铱溅射靶材在高温环境下仍能保持优良的物理和化学稳定性。

2.化学稳定性:铱的化学性质稳定,在1600℃以上的大气气氛中能保持良好的机械性能,并且在高温下有着很好的抗氧化性。此外,它还能承受住强酸、强碱、熔融试剂和高温硅酸盐的腐蚀,是已知的耐腐蚀的金属,可以抵抗任何酸的侵蚀。

3.高导电性和高导热性:铱溅射靶材的导电性能优越,主要得益于其高纯度和独特的物理特性。同时,其导热性能不仅体现在高效的热量传递上,更在于其出色的热稳定性。在高温条件下,铱靶材能够保持较低的热阻,确保热量快速而均匀地传递。

4.高纯度:铱溅射靶材的纯度极高,几乎不含有任何杂质,从而保证了电流传递的高效性和稳定性。

5.良好的机械性能。在1600℃以上的高温环境下,铱能保持良好的机械性能,不易变形或损坏。

 

铱溅射靶材的用途:

铱溅射靶材溅射的薄膜可用作功能性涂层和装饰涂层,并可镀在工具和珠宝的表面上,以提高其颜色、光泽、耐腐蚀性和耐腐蚀性。

此外,铱溅射靶材还具有磁控溅射技术中的优势,如发射的电子受磁场影响,增加工作气体的电离概率,从而在阴极附近形成高密度等离子体。这种技术使得铱溅射靶材在薄膜沉积、燃料电池、装饰、半导体、显示器、LED和光伏器件等领域具有广泛的应用前景。



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