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关于溅射靶材​安装的注意事项都有哪些

时间:2022-04-15 作者:北京瑞弛 点击:203次

  靶材是制备薄膜的主要材料之一,被广泛应用于电子及信息产业,如液晶显示屏、集成电路、平板显示等等,对材料的纯度和稳定性要求较高。更换不同的靶材,即可得到不同的膜系。现在就让北京瑞弛的小编就来和大家说说关于溅射靶材安装的注意事项。

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  1、注意建立导热链接

  靶材在安装过程中,特别要注意的一点是要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发,以至于会造成靶材开裂或脱靶。为确保足够的导热性,可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意要仔细检查和明确所使用溅射枪冷却壁的平整度,同时确保密封圈始终在位置上。

  2、注意清理污垢

  安装靶材时,要注意清理产生的污垢。所使用冷却水的洁净程度与设备设备运行过程中可能会产生污垢,这些污垢会会沉积在阴极冷却水槽内,所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理,确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。有些阴极设计与阳极的空隙较小,所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体,否则会产生短路。

  3、注意短路及密封性检查

  在靶材安装完成后,注意需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查。此想检查可以通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象。