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关于溅射靶材​的安装流程以及注意事项都有哪些

时间:2022-04-27 作者:北京瑞弛 点击:235次

  溅射靶材装置进程中最重要的注意事项是保证靶材和溅射枪冷却壁之间树立杰出的热传导衔接。假如冷却壁或背板的翘曲严峻,则在装置靶材时会导致开裂或弯曲,并且从背靶到靶材的能量导热性将遭到很大影响,因此在溅射进程中无法散热,最终靶材将开裂或丢失。现在就让北京瑞弛的小编的和大家一起分享一下关于靶材的安装流程以及注意事项,希望能很好的帮助到大家!

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  为保证满足的导热性,可在阴极冷却壁和靶材之间填充一层石墨纸。请注意仔细检查并确认所用溅射枪冷却壁的平整度,并保证O形圈一直就位。

  因为所用冷却水的清洁度以及设备运行进程中或许产生的尘垢将沉积在阴极冷却水箱中,因此在装置进程中有必要检查和清洁阴极冷却水箱靶材保证冷却水循环顺利,进出口不堵塞。

  一些阴极规划为与阳极之间有一个小间隙,因此在装置靶材期间,有必要保证阴极和阳极之间没有接触,也没有导体,不然会发生短路。

  有关怎么正确装置靶材的相关信息,请参阅设备制造商的操作手册。拧紧靶材夹具时,首要用手拧紧一个螺栓,然后用手拧紧对角线上的另一个螺栓。重复此操作,直到装置完所有螺栓,然后用工具拧紧。