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合金靶材的注意事项都有哪些

时间:2022-05-16 作者:北京瑞弛 点击:239次

  一、溅射预备

  坚持真空腔体尤其是溅射体系洁净是非常重要的。任何由润滑油和尘埃以及前期镀膜所形成的残留物会收集水气及其他污染物,直接影响真空度获得和增加成膜失败的可能性。短路或靶材起弧,成膜外表粗糙及化学杂质含量超支经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。 为坚持镀膜的成分特性,溅射气体(氩气或氧气)有必要清洁并枯燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,达到工艺所要求的真空度。 暗区屏蔽罩,腔体壁及邻近外表也需求坚持洁净。在清洗真空腔体时咱们主张采用玻璃球抛丸法处理有尘垢的部件一起用压缩空气清除腔体四周前期溅射剩余物,再用氧化铝浸渍过的沙纸悄悄的对外表进行抛光。纱纸抛光后, 再用酒精,丙酮和去离子水清洗,一起主张运用工业吸尘器进行辅助清洁。 高展金属生产的靶材采用真空密封塑料袋包装.

  内置防潮剂。运用靶材时请不要用手直接触摸靶材。注意:运用靶材时请配带洁净并且不会起绒的维护手套,绝对防止用手直接触摸靶材

  二、靶材清洁

  靶材清洁的意图是去除靶材外表可能存在的尘埃或尘垢。

  金属靶材能够经过四步清洁,

  第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  第二步与第一步相似用酒精清洁;

  第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗往后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。

  氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。

  第四步在清除完有尘垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲刷靶材, 以除去所有可能在溅射体系中会形成起弧的杂质微粒

  三、靶材装置

  靶材装置过程中Z重要的注意事项是一定要保证在靶材和溅射枪冷却壁之间树立很好的导热连接。假如用冷却壁的翘曲程度严峻或背板翘曲严峻会形成靶材装置时发生开裂或曲折,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发Z终会形成靶材开裂或脱靶

  为保证满足的导热性,能够在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细查看和清晰所运用溅射枪冷却壁的平整度,一起保证O型密封圈一直在位置上。

  由于所运用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会发生的尘垢会沉积在阴极冷却水槽内,所以在装置靶材时需求对阴极冷却水槽进行查看和清理,保证冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。

  有些阴极规划是与阳极的空地较小,所以在装置靶材时需求保证阴极与阳极之间没有触摸也不能存在导体,否则会发生短路。

  请参阅设备商操作手册中关于如何正确装置靶材的相关信息。假如用户运用手册中没有此相关信息,请尝试依照高展金属提供的相关主张进行装置。在收紧靶材夹具时,请先用手转紧一颗镙栓,再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓,如此重复直到装置上所有镙栓后,再用东西收紧 。

  四、短路及密封性查看

  靶材完结装置后需求对整个阴极进行短路查看及密封性查看,

  主张经过运用电阻仪摇表的方法对阴极是否存在短路进

  行判别。在确认阴极不存在短路后,能够进行检漏查看,将水通入阴极确认是否存在漏水现象。

  五、靶材预溅射

  靶材预溅射主张采用纯氩气进行溅射,能够起到清洁靶材外表的作用。靶材进行预溅射时主张慢慢加大溅射功率,陶瓷类靶材的功率加大速率主张为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度能够比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。

  在进行预溅射的一起需求查看靶材起弧情况,预溅射时刻一般为10分钟左右。如没有起弧现象,持续提高溅射功率

  到设定功率。依据经历,金属靶材可接受的Z大溅射功率为

  25watts/平方厘米,陶瓷靶材为10watts/平方厘米。请一起参阅用户体系操作手册中关于溅射时真空腔体压力的设定依据经历,一般应保证冷却水出水口的水温应低于35摄氏度,但Z重要的是保证冷却水的循环体系能有效工作,通

  过冷却水的快速循环带走热量,是保证能以较高功率接连溅射的一项重要保障。关于金属靶材一般主张冷却水流量为

  20LPM水压在5GMP左右;关于陶瓷靶材一般主张水流量在30LPM水压在9GMP左右

  六、靶材保养

  为防止在溅射过程中由于不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中心及两侧堆积的溅射物,

  这也有助于用户能够接连以Z大功率密度进行溅射

  七、靶材储存

  高展金属所提供的靶材包装在双层真空塑料袋中, 咱们主张用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是帖合靶材更需求保存在真空条件下,以防止帖合层氧化影响贴合质量。