北京瑞弛高科技有限公司
24小时咨询热线:4006991969         18600758298     
联系我们
北京瑞弛高科技有限公司
全国免费服务热线:400-699-1969
销售热线:010-62256731
技术咨询:18600758298
邮箱:sales@rsmaterial.com
地址 :北京市海淀区交大东路46号301A,301B
联系人:穆先生
您的位置: 首页>>行业新闻>>正文
行业新闻

北京瑞弛分享购买靶材时需要注意的事项

时间:2022-06-09 作者:北京瑞弛 点击:82次

  许多用户在采购靶材时没有从专业的角度去考虑,所以购买靶材时,都需要注意哪些事项,下面就让北京瑞弛的小编为大家指出购买靶材时需要注意的事项。


靶材,靶材注意事项

  首先,对于靶材来说,纯度是其主要功能指标之一,靶材的纯度对后期产品薄膜的功能影响很大。每一个产品对靶材的纯度要求也是有不同的。

  其次,就是靶材的个别元素杂质含量。在经过一系列的靶材工艺处理后靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。由于靶材的用处不同,所以不同用处的靶材对不同杂质含量的要求也不同。比方现在的半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

  密度也是靶材重要的性能指标之一.在靶材的技术工艺中为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的功能,一般是要求靶材必要具有较高的密度。由于靶材主要特性密度对溅射速率有着很大的影响,并且影响着薄膜的电学和光学功能。靶材密度越高,薄膜的功能越好。

  最后是晶粒度及晶粒分布。通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。关于同一种靶材,晶粒细微的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺度相差较小(散布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度散布更均匀。