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PVD磁控溅射真空镀膜注意事项

时间:2022-07-08 作者:北京瑞弛 点击:298次

  PVD的全称是物理气象堆积,即英文(Phisical Vapor Deposition)的简写形式。 目前PVD主要有蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,多弧离子镀膜,化学气相沉积等形式。 PVD总的来说属于绿色环保产业,和其他行业相比,对人体损害很小,但不是没有。当然,也完全能够有效减少,甚至完全消除。关于PVD磁控溅射真空镀膜注意事项这个问题,还是通过北京瑞弛小编的分享,让大家更准确的了解相关的专业知识。

镀膜,真空镀膜

  关于PVD磁控溅射真空镀膜注意事项有以下几点:

  1.辐射:有些镀膜要用到射频电源,如功率大,需做好屏蔽处理。另外,欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射。

  2.金属污染:镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的,特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染;

  3.噪音污染:如特别是一些大的镀膜设备,机械真空泵噪音很大,可以把泵隔离在墙外;

  4.光污染:离子镀膜过程中,气体电离发出强光,不宜透过观察窗久看;

  PVD磁控溅射镀膜机的一般工作温度在0~500之间都是可控的!