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关于高纯钛靶材的应用行业

时间:2022-07-11 作者:北京瑞弛 点击:60次

   众所周知,纯度是靶材的主要性能指标之一,在实际使用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。相比一般的工业纯钛,高纯钛价格昂贵,范围较窄。主要用来满一些特殊行业的使用。那么高纯钛靶材的主要应用有哪些呢?下面我们跟随北京瑞弛的专家了解一下。

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  高纯钛靶材的使用主要有以下几点:

  1、生物

  钛是无磁性金属,在很强的磁场中也不会被磁化,且与人体有良好的相容性,无毒副作用,可以用来制人体植入器件。一般医用钛材并没有达到高纯钛的级别,但是考虑到钛中不纯物的溶出问题,植入件用钛的纯度应尽可能的高。文献提到,高纯钛丝可用做生物捆扎料。此外,内埋导管的钛制注入式针头也达到了高纯钛级别

  2、装饰

  高纯钛具有优异的耐大气腐蚀性能,在大气中长期使用也不变色,保证钛原有的本色。因此高纯度钛还可以用做建筑装饰料。此外,近年来部分高档装饰品以及部分佩戴物,如手链、手表及眼镜架等用钛制作利用了钛耐腐蚀、不变色、能长久保持良好的光泽以及与人体皮肤触摸不致敏等特性。某些装饰品用钛的纯度现已达到5N级别

  3、吸气

  钛作为一种化学性质非常活泼的金属,在高温下可与许多元素和化合物发生反应。高纯钛对活性气体(如O2,N2CO,CO2650℃以上的水蒸气)的吸附性很强,蒸发在泵壁上的Ti膜可形成一个高吸附能力表面,这一性质使得Ti在超高真空抽气系统中作为吸气剂而得到广泛的用。如用在升华泵、溅射离子泵等,可使溅射离子泵的极限工作压强低至一定程度

  4、电子信息

  近年来,随着半导体技术、信息技术等高科技领域的快速发展,高纯钛在溅射靶材、集成电路、DRAMs和平板显示器等方面的用量越来越大,对钛材的纯度要求越来越高。在半导体超大规模集成电路行业,控制电极用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为散阻挡层和配线料。制作这些用溅射法,而溅射法用的钛靶材对纯度要求很高,特别是对碱金属元素和放射性元素要求含量极低。

  除以上提到几个应用领域外,高纯钛在特殊合金、功能材料领域也有应用。