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溅射靶材的保养知识

时间:2022-07-15 作者:北京瑞弛 点击:41次

  不少朋友关于靶材的保养都存在着大大小小的疑问,近期也有不少客户咨询关于靶材保养的相关问题,下面就让北京瑞弛的小编为我们分享一下关于溅射靶材的保养知识都有哪些?

靶材,靶材保养

  溅射靶材应该怎么保养?

  一、靶材保养

  为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除掉溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户能够连续以大功率密度进行溅射。

  二、靶材储存

  我们建议用户将靶材(无论是金属还是陶瓷类)储存在真空包装中, 尤其是贴合靶材必须保存在真空条件下,以防止贴合层氧化影响贴合质量。关于金属靶材的包装,我们建议至少需要包装在洁净的塑料袋中。

  三、靶材清洁

  第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  第二步与第一步类似用酒精清洁;

  第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗之后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

  第四步用高压低湿气的氩气冲洗靶材,以除掉任何可能在溅射系统中会引起电弧的不纯颗粒。

  四、短路及密封性查看

  靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行漏水检查,将水通入阴极以确定是否存在漏水现象。

  五、包装和运输

  所有靶材都包装在带有防潮剂的真空密封塑料袋中。外包装一般为木箱,四周有防撞层,以保护靶材和背板在运输和储存过程中不受损坏。