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关于靶材作用和用途的介绍

时间:2022-08-08 作者:北京瑞弛 点击:1376次

  关于靶材这个产品,现在应用市场越来越广,但是还是有一部分用户对靶材的作用和用途不是很了解,下面就让北京瑞弛的技术部专家对靶材的作用和用途做一个详细的介绍,

靶材,靶材的作用,靶材的用途

  1、微电子领域

  在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是最苛刻的。现在12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。

  2、显示器用

  平面显示器(FPD)这些年来大幅冲击以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场,亦将带动ITO靶材的技术与市场需求。现在的iTO靶材有两种.一种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。

  3、存储用

  在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多层复合膜是现在应用广泛的巨磁阻薄膜结构。磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,寿命长,可反复无接触擦写的特点。

  靶材的发展:

  各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来,溅射靶材及溅射技术的同步发展,极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。