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溅射靶材开裂原因及应对措施

时间:2022-09-21 作者:北京瑞弛 点击:1132次

  溅射靶材出现裂纹通常发生在氧化物、碳化物、氮化物等陶瓷溅射靶和铬、锑、铋等脆性材料溅射靶中。现在就让北京瑞弛的技术专家给大家讲解一下为什么溅射靶材会开裂以及可以采取哪些预防措施来避免这一情况。

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  陶瓷或脆性材料靶材始终含有固有应力。这些内应力是在靶材制造过程中产生的。此外,这些应力并没有通过退火过程完全消除,因为这是这些材料的固有特性。在溅射过程中,轰击气体离子将其动量传递给目标原子,为其提供足够的能量,使其脱离晶格。这种放热动量转移使靶材温度升高,在原子水平上可能达到1000000摄氏度。这些热冲击将靶材中已经存在的内应力增加到许多倍。在这种情况下,如果不适当散热,靶材就可能会断裂。

  为了防止靶材开裂,需要着重考虑的是散热。需要水冷却机制来去除靶材中不需要的热能。另一个需要考虑的问题是功率的增加。在很短的时间内施加过多的功率也会对靶材造成热冲击。此外,我们建议将这些靶材绑定到背板上,这样不仅可以为靶材提供支撑,还可以促进靶材与水之间更好的热交换。如果靶材有裂纹,但与背板粘结在一起,仍然可以继续使用。

  北京瑞弛高科技有限公司可以提供带背板的溅射靶材。可以按客户要求的背板材料、厚度和粘接类型进行定制。