为了支持薄膜基的压电MEMS (pMEMS)传感器和射频(RF)滤波器件行业，北京瑞弛高科技有限公司制造的铝钪合金，专门用于掺杂钪氮化铝薄膜的反应沉积。
薄膜压电材料越来越多地应用于汽车、工业和个人电子设备中。应用包括基于pmt的指纹传感器和手势识别设备，MEMS麦克风，基于谐振器的化学传感器和医疗传感器。此外，越来越需要钪掺杂氮化铝薄膜来实现5G网络应用的射频滤波器。同时铝钪合金的用量也越来越大。
铝钪合金的性能
整个合金高度一致的化学均匀性
在整个晶片和整个合金寿命期间，高度一致的薄膜化学均匀性
纯度>99.9%，含氧量低，临界污染物含量低
严格控制微结构，实现最佳溅射性能
真空浇铸，完全致密的合金，具有低粘附性、低变异性和低颗粒性
北京瑞弛高科技有限公司支持多种合金熔炼以及靶材定制和研发服务
