北京瑞弛高科技有限公司
24小时咨询热线:4006991969         18600758298     
联系我们
北京瑞弛高科技有限公司
全国免费服务热线:400-699-1969
销售热线:010-62256731
技术咨询:18600758298
邮箱:sales@rsmaterial.com
地址 :北京市海淀区交大东路46号301A,301B
联系人:穆先生
您的位置: 首页>>钛合金靶材>>正文
钛合金靶材
钛铝钒合金靶材
钛铝钒合金靶材

钛铝钒合金靶材

钛铝钒靶材是由高纯钛、铝、钒熔炼铸造得到的靶材,其纯度高,导电性能好,钛铝钒合金即α+β型钛合金,是一种常见的合金类金属,在日常生活中用处很多。有TC3(含有4.5%~6.0%铝和3.5%~4.5%钒)、TC4(含有5.5%~6.8%铝和3.5%~4.5%...

咨询电话 : 4006991969         18600758298

产品类别

合金靶材

产品简称

TiAlV

产品全称

Titanium aluminum vanadium

产品纯度

99.7%99.9%,99.95%

产品形状

平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶

生产工艺

Vacuum Melting,PM

最大尺寸

L≤2000mm,W≤200mm

产品细节:

钛铝钒靶材是由高纯钛、铝、钒熔炼铸造得到的靶材,其纯度高,导电性能好,钛铝钒合金即α+β型钛合金,是一种常见的合金类金属,在日常生活中用处很多。有TC3(含有4.5%~6.0%铝和3.5%~4.5%钒)、TC4(含有5.5%~6.8%铝和3.5%~4.5%钒)和TC10(含有5.5%~6.5%铝、5.5%~6.5%钒、1.5%~2.5%锡、0.35%~1.0%铁和0.35%~1.0%铜)。铝和钒起固溶强化和稳定β相的作用。

MEMS红外探测器使器件吸收到的热量尽可能多的保留在桥面上,这就需要桥臂材料的热导较低,即桥臂材料的热导率较低方可达到要求。常用红外探测器的桥臂材料主要有T1、A1、NiCr合金等,Ti是业界作为桥臂材料使用最为广泛的,但其膜厚小于0.02um时易氧化的缺点制约了在低热导方面的应用,A1因其热导太大在桥臂材料的使用方面受到限制,NiCr合金干法刻蚀工艺无法实现。因此,亟需一种热导小、工艺易实现、化学稳定性好等综合性能最佳的材料。TiAlV薄膜能够有效降低红外探测器的热导,提高红外探测器的响应率。

TiAlV与氮气反应溅射生成TiAlVN薄膜,与TiAlN薄膜相比有很多优异的性能。TiAlN薄膜属于面心立方(fcc)和六方密排(hcp)二重结构,晶格常量比TiAlN薄膜小,晶粒尺寸比TiAlN薄膜大,含 V10.20%的TiAlVN薄膜质量相对较好;TiAlN薄膜的腐蚀电流明显小于TiAlN薄膜,抗腐蚀性能增强,含V10.20%的TiAlVN薄膜 的抗腐蚀性能约为TiAlN薄膜的4倍.

北京瑞弛高科技有限公司专业提供钛铝钒靶材,可以根据客户要求定制,如需要更多的信息,敬请联系我们。


标签: 合金靶材

相关推荐