北京瑞弛高科技有限公司
24小时咨询热线:4006991969         18600758298     
联系我们
北京瑞弛高科技有限公司
全国免费服务热线:400-699-1969
销售热线:010-62256731
技术咨询:18600758298
邮箱:sales@rsmaterial.com
地址 :北京市海淀区交大东路46号301A,301B
联系人:穆先生
您的位置: 首页>>新闻资讯>>正文
新闻资讯

影响靶材质量的因素都有哪些?

时间:2022-04-19 作者:北京瑞弛 点击:74次

  随着工业技术的发展,工业生产所需的靶材质量也越来越高,因为靶材的质量直接影响着磁控溅射薄膜的性能。现在,企业一般在购买靶材时更偏向用成分结构均匀的高密度靶材进行溅射镀膜,以减少靶材的多次拼接,提高溅射镀膜的质量。所以这就要求靶材的生产厂家严格控制靶材质量。现在就让北京瑞弛的小编带大家了解一下影响靶材质量的因素有哪些?

靶材,靶材质量,影响靶材质量的因素都有哪些

  1、工艺参数对靶材质量的影响

  工艺参数主要包括冷压压力、加压速度和脱模速度等参数。在靶材冷压时,压力将会直接影响靶材毛坯的质量;加压速度对靶材毛坯分层有很大影响,粉末均匀填充进阴模时的初始状态为松懈状态,其内有许多孔隙及气体,气体的排出需要一段时间,若此刻加压速度过快,粉末颗粒之间接触面增大,空隙迅速削减,气体会关闭在靶材毛坯内,这样就会造成毛坯孔洞增多的问题。

  2、模具对靶材质量的影响

  模具对靶材毛坯成形也有一定影响,主要的影响因素有模具内侧表面光洁度、冲头与模腔的空隙等,空隙太大,会发生跑粉、漏粉等现象,会使得毛坯边际密度偏低,在脱模时发生掉边等质量问题。  3、材料含水量对靶材质量的影响

  制作靶材的粉末中含有的水分相当于润滑剂的效果,它的存在可降低颗粒之间的摩擦力,有利于冷压压力的有效传递,也有利于粉末颗粒之间顺利滑移、重排。但当含水量过少或过多时会影响到靶材质量。

  当ITO粉末中含水量在小于2%时,在冷压压力、粘结剂含量等其它条件相同时,靶材呈现掉边、分层等质量问题的几率会大大增加。当ITO粉末中含水量在大于10%时,在冷压压力、粘结剂含量等其它条件相同下,尽管粉末颗粒滑移、重排会更加简单,但模具内侧有水分排出,会造成靶材毛坯四周掉边的问题。实验表明,粉末含水量在3%~6%之间时,靶材毛坯质量问题得到有效控制。

  4、粘结剂掺入量对靶材质量的影响

  粘结剂的掺入量对靶材质量有很大影响。在掺入量小于1%时,靶材毛坯会发生很严重的质量问题,这时粘结剂的效果未表现出来,对提高靶材的毛坯强度作用不大。随着粘结剂掺入量增加到2%、3%,靶材强度得到增强,靶材质量问题极大削减。但当粘结剂掺入量达到4%后,尽管靶材冷压毛坯质量问题消失,但在后续脱模过程中,靶材偶尔出现分层现象。