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关于合金靶材储存保养知识都有哪些

时间:2022-06-07 作者:北京瑞弛 点击:81次

  靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们主张用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是帖合靶材更需求保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。关于金属靶材的包装, 我们主张最少需求包装在洁净的塑料袋中。下面北京瑞弛的小编就为大家分享一下关于合金靶材的储存保养技巧都有哪些?

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  关于合金靶材保养技巧如下:

  为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除掉溅射轨道中心及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户能够连续以最大功率密度进行溅射。

  第一步:用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  第二步:与第一步类似用酒精清洁;

  第三步:用去离子水清洗。在用去离子水清洗往后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。

  第四步:在清除完有尘垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲刷靶材, 以除掉一切可能在溅射体系中会形成起弧的杂质微粒。