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铝合金溅射靶材的制作工艺

时间:2022-06-22 作者:北京瑞弛 点击:23次

  关于用铸造法和溅射成形法制备铝合金溅射靶材,铸造法的缺陷是靶材易产生偏析现象,影响溅镀薄膜的质量,且溅镀靶表面易产生微颗粒,影响薄膜性质的均匀性。溅射成形法虽然能防止铸造法的缺陷,但工艺复杂,制备成本较高,质量不易控制。关于铝合金溅射靶材的制作工艺,就让北京瑞弛的小编带领大家一起了解一下。

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  采用气喷粉末方法制备铝合金溅镀靶材,可以防止资料偏析和微颗粒现象,生产效率高,成本较低。其制备工艺如下;

  1)熔熔金属质料。

  2)然后以气喷法将该金属熔液制成金属粉末。

  3)筛分合金粉,获得适当粒径的粉末。

  4)最终,以真空热压法将该筛分后的金属粉末成形,制成铝合金溅镀靶材。热压成形温度为500~ 650℃,时间为80 ~ 100min,压力为20 ~50MPa;通入氩气作为维护气体,氢气作为复原气体。