靶材清洁的目的是去除靶材外表可能存在的尘埃或污垢。下面北京瑞弛的小编就为大家分享一下关于金属靶材能够通过四步清洁：
第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
第二步与第一步类似用酒精清洁;
第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗往后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗主张用“无绒布”进行清洁。
第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除掉一切可能在溅射系统中会形成起弧的杂质微粒。
注意：运用靶材时请配带干净而且不会起绒的维护手套，绝对防止用手直接接触靶材。
为防止在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除掉溅射轨迹中心及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户能够连续以最大功率密度进行溅射。
