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磁控溅射靶材的使用方法都有哪些

时间:2022-06-27 作者:北京瑞弛 点击:160次

  随着社会的发展,现在越来越多的人们已经多多少少的了解了溅射靶材这个产品,但是对于这个产品的使用方法有的还是不是特别清楚的,现在就让北京瑞弛的小编来为大家分享一下,关于磁控溅射靶材的使用方法都有哪些?

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  磁控溅镀操作方法

  由垂直的电场和磁场的结合组成。因为电磁的交互作用,促进电子集中于靶材邻近,以提升离子化效应.

  1、磁场会使负极表面形成电子的集合处,离子会因受限的电子源的静电效应而集合。

  2、电子能有用集合于靶材的表面,使离子化效率提高并提高溅镀速率。

  磁控溅射靶材的优点与缺陷

  磁控溅镀虽会添加溅镀速率,相对地,亦会加速靶材的损耗。因为基材与电浆间的距离较大,使基材较远离电浆可在低的工作温度进行溅镀。