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钼溅射靶材的分类与应用

时间:2022-06-28 作者:北京瑞弛 点击:56次

  随着电子行业综合性能和使用环境要求的提高, 钼溅射靶材也表现出了其独特的性能。钼溅射靶可在各类基材上形成薄膜, 这种溅射薄膜广泛用作电子部件和电子产品,关于钼溅射靶材的使用都有哪些?下面就让北京瑞弛的小编为大家解说一下

靶材,钼靶材

  钼溅射靶材的分类

  1、平面靶材

  2、旋转靶材

  关于钼溅射靶材的工艺介绍:

  选用冷等静压成型-中频炉烧结-轧机轧制-机加工处理-检测-制品。

  钼溅射靶材的使用:

  钼靶材广泛用于导电玻璃、STN/TN/ TFT - LCD、光学玻璃、离子镀膜等行业,适用于所有平面镀膜及旋转镀膜体系。

  这些是基于钼的高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及杰出的环保性能。以前, 平面显示器的配线材料主要是铬, 但随着平面显示器的大型化和高精度化, 越来越需要比阻抗小的材料。

  另外, 环保也是必须考虑的问题。而钼具有比阻抗和膜应力仅为铬的1 /2的优势, 并且不存在环境污染问题, 因此成为了平面显示器溅射靶材的首选材料之一。