北京瑞弛高科技有限公司
24小时咨询热线:4006991969         18600758298     
联系我们
北京瑞弛高科技有限公司
全国免费服务热线:400-699-1969
销售热线:010-62256731
技术咨询:18600758298
邮箱:sales@rsmaterial.com
地址 :北京市海淀区交大东路46号301A,301B
联系人:穆先生
您的位置: 首页>>行业新闻>>正文
行业新闻

圆柱形、平面式磁控溅射靶材的优势

时间:2022-07-04 作者:北京瑞弛 点击:68次

  北京瑞弛技术顾问给大家分享关于圆柱形、平面式磁控溅射靶材的优势都有哪些?与其它形式的磁控溅射靶材相比,圆柱形、平面式磁控溅射靶在保留了矩形平面靶镀膜均匀性好的优点的同时,可经过以下两条途径最大限度地提高靶材的使用率:

靶材,溅射靶材

  (1)当靶材外表的2组(四条)环状凹坑达到一定深度时,可将靶芯(磁体部分)相对靶管旋转45°,这样就可以对靶管上别的没有腐蚀过的区域进行利用;

  (2)当圆柱形、平面式磁控溅射靶的靶芯设计成转靶芯时,(溅射时靶芯在旋转),可将靶材表面一层一层均匀地溅射掉,而不会产生凹坑,此时,靶材将得到最有效的使用,靶材的使用率可达50%~60%.当靶材为贵金属材料时,这无疑是具有重大意义的。

  通过采用同轴圆柱形磁控溅射靶中磁铁与极靴的原理来解决端部磁场问题,可以将矩形平面靶演变成圆柱形、平面式磁控溅射靶.该靶在保留矩形平面靶镀膜均匀性好的情况下,可最大限度地提高靶材的使用率.从而提高经济效益。