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铜合金靶材的主要技术知识详解

时间:2022-07-05 作者:北京瑞弛 点击:67次

  随着靶材市场需求量不断增加,靶材的种类是越来越多,合金靶材、溅射靶材、陶瓷靶材等等,那么关于铜合金靶材的技术知识都有哪些?下面就让北京瑞弛的小编为大家分享一下铜靶材的技术知识。

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  1、尺寸的确定及公差范围

  根据实际需要,铜靶材需要高精度的外观尺寸,按照客户要求提供一定规格及偏差的靶材。

  2、纯度要求

  纯度的要求主要依据客户的使用用途来确定,以满意客户需要为依据。

  3、微观结构要求

  ①晶粒:靶材的晶粒度大小影响靶材的溅射性能。因而晶粒的大小主要根据客户的使用要求,通过一系列锻打热处理达到用户要求。

  ②晶向:根据铜靶材的组织结构特点,采用不同的成型办法,热处理工艺等按用户要求进行控制。

  4、外观质量要求

  靶材表面必须无造成使用上不良的因素,根据客户要求,保证溅射过程的质量。

  5、焊接结合率要求

  铜靶材在溅射前与其他材料焊接在一起,则焊接后必须经过超声波检验,保证两者的不结合区域≥95%,满意大功率溅射的要求而不至于脱落。关于一体型则不需要进行超声波检测。

  6、内部质量要求

  鉴于靶材的使用条件,靶材内部需无气孔、夹杂物等缺陷。 结合实际需要与客户协商确定。

  对靶材进行全面的清洗,确保靶材外表无玷污和颗粒附加物附着后,直接进行真空包装,根据客户的要求。