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关于合金靶材的清洗、储存以及保养问题

时间:2022-03-17 作者:北京瑞弛 点击:173次

  一、合金靶材的溅射预备

  坚持真空腔体尤其是溅射体系洁净是非常重要的。任何由润滑油和尘埃以及前期镀膜所形成的残留物会收集水气及其他污染物,直接影响真空度获得和增加成膜失败的可能性。短路或靶材起弧,成膜外表粗糙及化学杂质含量超支经常是因为不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。

  内置防潮剂。运用合金靶材时请不要用手直触摸摸靶材。

      注意:运用靶材时请配带干净并且不会起绒的维护手套,肯定避免用手直触摸摸靶材

  二、合金靶材清洗小知识

  靶材清洁的意图是去除靶材外表可能存在的尘埃或尘垢。

  金属靶材能够经过四步清洁,

  第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  第二步与第一步类似用酒精清洁;

  第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。

  第四步在铲除完有尘垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲刷靶材, 以除掉一切可能在溅射体系中会形成起弧的杂质微粒

  三、合金靶材安装流程

  为保证足够的导热性,能够在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和清晰所运用溅射枪冷却壁的平整度,一起保证O型密封圈一直在位置上。

  有些阴极设计是与阳极的空地较小,所以在装置靶材时需求保证阴极与阳极之间没有触摸也不能存在导体,否则会发生短路。

  靶材装置过程中Z重要的注意事项是一定要保证在靶材和溅射枪冷却壁之间树立很好的导热连接。假如用冷却壁的翘曲程度严峻或背板翘曲严峻会形成靶材装置时发生开裂或曲折,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发Z终会形成靶材开裂或脱靶

  因为所运用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会发生的尘垢会沉积在阴极冷却水槽内,所以在装置靶材时需求对阴极冷却水槽进行检查和清理,保证冷却水循环的顺利和进出水口不会被堵塞。

  四、合金靶材预溅射

  靶材预溅射主张采用纯氩气进行溅射,能够起到清洁靶材外表的效果。靶材进行预溅射时主张渐渐加大溅射功率,陶瓷类靶材的功率加大速率主张为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度能够比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。

  25watts/平方厘米,陶瓷靶材为10watts/平方厘米。请一起参考用户体系操作手册中关于溅射时真空腔体压力的设定根据经验,一般应保证冷却水出水口的水温应低于35摄氏度,但Z重要的是保证冷却水的循环体系能有效作业,经过冷却水的快速循环带走热量,是保证能以较高功率接连溅射的一项重要保障。关于金属靶材一般主张冷却水流量为20LPM水压在5GMP左右;关于陶瓷靶材一般主张水流量在30LPM水压在9GMP左右

  五、合金靶材储存的储存方法

  高展金属所供给的靶材包装在双层真空塑料袋中, 咱们主张用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是帖合靶材更需求保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。关于金属靶材的包装, 咱们主张Z少需求包装在洁净的塑料袋中

  六、合金靶材保养小技巧

  为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除掉溅射轨道中心及两边堆积的溅射物,这也有助于用户能够接连以Z大功率密度进行溅射