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靶材中毒都有哪些现象

时间:2022-03-17 作者:北京瑞弛 点击:277次

       不知道大家对于靶材中毒现象是否有了解,靶材中毒之后会有哪些反应呢?下面北京瑞弛的小编就为大家来分享一下,关于靶材中毒之后的反应都有哪些?来为大家科普一下,希望可以帮助到更多的朋友!

  第一:靶面金属化合物的构成。

  由金属靶面通过反响溅射工艺构成化合物的进程中,化合物是在哪里构成的呢?由于活性反响气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反响生成化合物原子,通常是放热反响,反响生成热必须有传导出去的途径,否则,该化学反响无法继续进行。在真空条件下气体之间不可能进行热传导,所以,化学反响必须在一个固体外表进行。反响溅射生成物在靶外表、基片外表、和其他结构外表进行。

  第二:靶中毒的影响要素

  影响靶中毒的要素主要是反响气体和溅射气体的份额,反响气体过量就会导致靶中毒。反响溅射工艺进行进程中靶外表溅射沟道区域内出现被反响生成物掩盖或反响生成物被剥离而从头露出金属外表此消彼长的进程。假定化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率,化合物掩盖面积添加。在必定功率的情况下,参加化合物生成的反响气体量添加,化合物生成率添加。假定反响气体量添加过度,化合物掩盖面积添加,假定不能及时调整反响气体流量,化合物掩盖面积添加的速率得不到按捺,溅射沟道将进一步被化合物掩盖,当溅射靶被化合物悉数掩盖的时分,靶彻底中毒,在靶面上堆积一层化合金属膜。使其很难被再次反响。

  第三:靶中毒现象

  (1)正离子堆积:靶中毒时,靶面构成一层绝缘膜,正离子抵达阴极靶面时由于绝缘层的阻遏,不能直接进入阴极靶面,而是堆积在靶面上,简略产生冷场致弧光放电---打弧,使阴极溅射无法进行下去。(2)阳极消失:靶中毒时,接地的真空室壁上也堆积了绝缘膜,抵达阳极的电子无法进入阳极,构成阳极消失现象。

  第四:靶中毒的物理说明

  (1)一般情况下,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶中毒后,靶材外表都是金属化合物,在遭到离子轰击之后,开释的二次电子数量添加,提高了空间的导通才干