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常见的合金溅射靶材的制作方法都有哪些

时间:2022-03-24 作者:北京瑞弛 点击:274次

  合金溅射靶材的要求比其他资料要高,除了如纯度、尺寸、各项杂质含量、缺陷操控等一般要求外,还有外表粗糙度、成份与安排均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸等特别的要求。所以在溅射合金靶材的制备过程中,其办法是非常重要的,那么常见的溅射合金靶材的制备办法有哪些呢?北京瑞弛小编就总结了几种办法共享给大家,一同来看看吧。

合金靶材,溅射靶材,合金溅射靶材制作方法

    一、特种熔炼法

    特种熔炼法是将一定成分配比的合金质料熔炼,再将合金溶液浇注于模具中,构成铸锭,再通过机械加工制成靶材,铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼办法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等,其长处是靶材杂质含量,特别是气体杂质含量低,密度高,可大型化;但缺点是对熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属,一般熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材,如钛铝合金。

    二、粉末冶金法

    粉末冶金法是将一定成分配比的合金质料熔炼,浇注成铸锭后再破坏,将破坏构成的粉末经等静压成形,再高温烧结,构成靶材。此办法的长处是靶材成分均匀;但缺点是密度低,杂质含量高等,常用的粉末冶金工艺包括冷压、真空热压和热等静压等。

    三、强电流加热法

    强电流加热法选用可获得大电流的装置,利用大电流使两种质料的粉末发热,再施加压力,使得两种金属本身反响构成合金靶材,此办法可用与制作钛铝合金靶材。钛粉和铝粉发热,施以压力,使铝和钛本身反响构成钛铝合金靶材。

    四、热等静压烧结法

    热等静压烧结法热等静压烧结是指通过高温文各向均衡的高压气体的一起效果,使坯体或预烧体到达烧结细密化的工艺办法。将两种金属粉末进行混料,然后通过装粉和冷等静压预限制、脱气工艺后再进行热等静压限制成型,然后进行烧结和加工得到合金靶材。此办法适用于制作形状杂乱的制品,可进步制品的细密度和性能。

    五、热压烧结法

    热压烧结法制备技能用于制备钛铝合金溅射靶材较为有潜力。该技能工艺功率高,适合产业化出产。而用该技能制备钛铝合金靶材需反复试验,挑选适宜的脱模剂,进步成品率及模具的利用率,一起,需优化烧结热工艺条件,如烧结温度、升温速率、热压压力等,进步出产功率,从而降低成本。该工艺是使钛铝粉体在热和力的一起效果下烧结成型,利用Ti- AI混合物中铝的熔点低,将钛粉粘结在一同,构成溅射合金靶材。