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关于靶材安装注意事项都有哪些

时间:2022-03-24 作者:北京瑞弛 点击:128次

  靶材是制备薄膜的首要资料之一,被广泛应用于电子及信息产业,如液晶显示屏、集成电路、平板显示等等,对资料的纯度和安稳性要求较高。替换不同的靶材,即可得到不同的膜系。今天北京瑞弛的小编就来和大家说说关于靶材安装需要注意事项都有哪些。

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  1、留意树立导热链接

  靶材在装置过程中,特别要留意的一点是要保证在靶材和溅射枪冷却壁之间树立很好的导热连接。如果冷却壁的翘曲程度严峻或背板翘曲严峻会形成靶材装置时发生开裂或曲折,背靶到靶材的导热功能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法发出,以至于会形成靶材开裂或脱靶。为保证满足的导热性,能够在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请留意要仔细查看和明确所运用溅射枪冷却壁的平整度,一起保证密封圈始终在方位上。

  2、留意整理尘垢

  装置靶材时,要留意整理发生的尘垢。所运用冷却水的洁净程度与设备设备运行过程中可能会发生尘垢,这些尘垢会会沉积在阴极冷却水槽内,所以在装置靶材时需要对阴极冷却水槽进行查看和整理,保证冷却水循环的顺利和进出水口不会被阻塞。有些阴极规划与阳极的空地较小,所以在装置靶材时需要保证阴极与阳极之间没有触摸也不能存在导体,否则会发生短路。

  3、留意短路及密封性查看

  在靶材装置完成后,留意需要对整个阴极进行短路查看及密封性查看。此想查看能够经过运用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判别。在确认阴极不存在短路后,能够进行检漏查看,将水通入阴极确认是否存在漏水现象。