北京瑞弛高科技有限公司
24小时咨询热线:4006991969         18600758298     
联系我们
北京瑞弛高科技有限公司
全国免费服务热线:400-699-1969
销售热线:010-62256731
销售一部:18501292991 谭先生
销售二部:18501292930 苑女士
销售三部:13264578403 王女士
销售四部:15652351154 冯女士
技术咨询:18600758298 穆经理
邮箱:sales@rsmaterial.com
地址 :北京市海淀区交大东路46号301A,301B
您的位置: 首页>>新闻资讯>>正文
新闻资讯

什么是靶材绑定?靶材绑定有哪些作用

时间:2022-03-24 作者:北京瑞弛 点击:332次

  什么是靶材绑定?在靶材镀膜时,有时候会把靶材绑定在一个背靶上,用焊料将靶材与背靶焊接起来,这叫“靶材绑定”。一般的靶材会将其绑定在铜背靶上,旋转靶材会绑定在不锈钢衬管上,下面小编就来具体介绍下靶材绑定的方法、作用及流程的内容。

    一、靶材绑定的方法

    靶材绑定的方法主要有三种,压接、钎焊和导电胶。

    1、压接:选用压条, 一般为了提高触摸的良好性,会添加石墨纸、Pb或In皮。

    2、钎焊:一般使用软钎料的状况下,钎料常用In、Sn、In-Sn,要求溅射功率小于20W/cm2。

    3、导电胶:选用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0 05微米。

    二、靶材绑定的作用

  

    1、避免靶材受热不匀碎裂。例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材受热简单碎裂;

    2、节省本钱,避免变形。如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以避免变形。

    三、靶材绑定的流程

    1、绑定前将靶材和背靶外表预处理;

    2、将背靶固定放置在加热台上,将靶材放于背板上,升温到绑定温度;

    3、将靶材和背靶金属化,经过钎焊将靶材贴合在铜背板上;

    4、粘接靶材和背靶,靶材的远离铜背板的外表上放置配重块,待靶材冷却后取下配重块过程;

    5、降温和后处理。

    四、靶材绑定的规模

    技能上来说外表平整可进行金属化处理的靶材都可以用钎焊绑定技能绑定铜背靶,来提高溅射过程的散热性、提高靶材利用率。主张绑定的靶材: ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材; 锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的状况等。但下列状况绑定有坏处:

    1、熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;

    2、贵金属靶材,一是实际分量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,主张垫一片铜片。

    五、绑定靶材的使用注意事项

    1、溅射温度不宜太高;

    2、电流要缓慢加大;

    3、循环冷却水应低于35摄氏度;

    4、适合的靶材致密度。

    六、背靶的选择

    1、对原料的要求:一般选用无氧铜和钼靶。

    2、导电性好,常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;

    3、厚度适中,般主张背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁强;太薄,简单变形。

    4、结构要求空心或许实心结构。

    5、强度满足,太薄,易变形,不易真空密封。

    七、背靶掉落的原因

    1、溅射温度高,背靶易被氧化和产生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,形成背靶掉落;

    2、电流太大,导热太快形成温度过高,焊料熔化,形成焊料不均匀,形成背靶掉落;

    3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度,循环水温度高,形成散热欠好而掉落;

    4、靶材自身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易掉落。